天下最復(fù)雜的機(jī)器:極紫光刻機(jī)有十萬(wàn)個(gè)零部件,唯有荷蘭阿斯麥ASML可以實(shí)現(xiàn)。ASML所在的維爾德霍芬的荷蘭小鎮(zhèn),就像整個(gè)ICT行業(yè)的心臟,它決定了半導(dǎo)體世界的脈搏。它就像《星球大戰(zhàn)》主人公盧克揮著原力光影劍,切割著芯片的速度和密度,從而來(lái)定義全世界的算力和存儲(chǔ)容量。
這個(gè)小鎮(zhèn),自然與阿斯麥同呼一吸。而阿斯麥光刻機(jī)的配件供應(yīng)商,也是遍布全球。有專家分析,ASML設(shè)備有90%以上零件向外采購(gòu),這一比例遠(yuǎn)高于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手尼康和佳能,這也是當(dāng)年日本光刻機(jī)轉(zhuǎn)勝為敗的關(guān)鍵性差異之一。
ASML的許多關(guān)鍵部件,都是由供應(yīng)商冒險(xiǎn)研制的,甚至有一些則是[敏感詞]。光刻機(jī)的鏡頭光學(xué)系統(tǒng)是德國(guó)蔡司[敏感詞]提供,蔡司曾經(jīng)在ASML剛剛崛起的時(shí)候背叛了這家小公司,而擁抱了錯(cuò)誤的對(duì)手。它甚至被尼康的鏡頭打敗了。時(shí)光,讓高傲的德國(guó)人低下頭來(lái),挽救了自己的光環(huán)。在EUV領(lǐng)域,它擁有的專利,名列第一比ASML還要多。而ASML其實(shí)也是蔡司的重要股東。
深紫光源系統(tǒng),一直由[敏感詞]Cymer公司提供,在2012年已經(jīng)被阿斯麥?zhǔn)召?gòu)。但在極紫光源,則需要依賴外部供應(yīng)商。這一次又是德國(guó)。
EUV唯一的激光源,來(lái)自德國(guó)通快的高功率二氧化碳激光器。通快花費(fèi)十年的時(shí)間,終于打造出2萬(wàn)瓦的氣體激光器,成為阿斯麥光刻機(jī)[敏感詞]的供應(yīng)商。這給通快帶來(lái)了豐厚的利潤(rùn)。通快2021年財(cái)報(bào),來(lái)自荷蘭的收入大約4.5億歐元,僅次于整個(gè)[敏感詞]的銷售額。對(duì)于二氧化碳激光器這個(gè)看上去已經(jīng)過(guò)時(shí)、被光纖激光器碾壓的時(shí)代,通快依然為自己昔日的[敏感詞]激光器找到了一個(gè)無(wú)人可以進(jìn)入的市場(chǎng)。
那么阿斯麥干什么?專注于系統(tǒng)集成。這更多要靠軟件和檢測(cè)技術(shù)。它在2007年收購(gòu)了Brion公司,獲得了計(jì)算光刻軟件;而在2016年則收購(gòu)了Hermes微視公司,獲得了晶圓檢測(cè)。軟件、檢測(cè)與整機(jī),構(gòu)成一體化光刻技術(shù),這就是光刻機(jī)巨頭的核心力量。
這意味阿斯麥絕不是一個(gè)簡(jiǎn)單的公司,這是一個(gè)多重科技的利益纏繞體。這些供應(yīng)鏈看上去是一顆顆獨(dú)立的樹,但他們的老根,已經(jīng)盤根錯(cuò)節(jié)的交叉在一起。撼山易,撼老樹根難。核心外包,加上核心自控,構(gòu)成了一個(gè)新型景觀:供應(yīng)鏈復(fù)合體。
你以為這是一片森林,其實(shí)它們有著共同的老根,共希望同焦慮。這種生態(tài)不是生而自由態(tài),這是生死相連態(tài)#供應(yīng)鏈攻防戰(zhàn)#